IBM: Neue Kristallisations-Methode für Halbleiter-Bau

IBM hat beim IEEE (International Electron Device Meeting) in Washington einen neuen Ansatz in der Nanotechnologie vorgestellt. Die IBM-Forscher haben erstmals ein molekulares Selbst-Anordnungsverfahren (molecular self assembly) verwendet, das vor allem für die Anwendung in künftigen Mikroelektronik-Technologien prädestiniert ist.

Das neue Selbst-Anordnungsverfahren nützt die Tendenz bestimmter Typen von Polymer-Molekülen, sich selbst zu organisieren. Die Moleküle verhalten sich dabei so, dass sie auf dem Chip Funktionen wesentlicher Bauelemente übernehmen und dabei kleiner, dichter, präziser und gleichförmiger sind als solche, die mit herkömmlichen Verfahren wie der Lithografie hergestellt wurden.

In einem konkreten Beispiel haben die Forscher die neue Methode dazu benutzt, um die Funktion eines Halbleiter-Speicher-Bauteils zu erhalten. Das Polymer bildet dabei die Form einer dicht gepackten Silizium-Nanokristall-Anordnung - als Basis für einen Flash-Speicher.

Die Methode ist voll kompatibel mit existierenden Chiperstellungs-Werkzeugen. (pte)

Mehr dazu: